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半导体装备市场，又泛起了波涛。

芯片制造实力被视为是未来全球半导体产业竞争的焦点，而半导体装备作为芯片制造的要害，是近几年讨论的热门话题，尤其是随着美国对华制裁的推进，半导体装备领域更是被推上了风口浪尖。国际装备巨头相继最先弱化中国市场，以期削减美国的对华出口限制的繁重肩负。

与此同时，随同下游应用市场的低迷，产业链厂商相继缩减资源开支，降低扩产措施，半导体装备供应商订单随之下降。 美国应用质料几天前在记者会上示意，“正在发生计储芯片客户大量作废和推迟订单的情形。”

图源：日经中文网

笔者在此前文章中也形貌了半导体装备大厂的“落寞”，在订单削减、业绩下滑、市值腰斩等多重压力下，全球头部半导体装备厂商正迎来“市场隆冬”。

环视当下，半导体市场下行周期与商业摩擦内外交织，给半导体装备巨头的营业带来了很洪水平的折损。但这同时也给置身其中的国产装备供应商提供了新的生长时机。

现在，以北方华创、中微公司、盛美上海、芯源微等一批为代表的海内半导体装备厂商经由数十年的生长，完成从0到1的积累历程。

随着A股业绩宣布期的到来，半导体装备相关公司也向市场交出答卷，可借此一窥中国半导体装备产业2022年的生长状态。

国产装备商2022年业绩一览

2022年中国半导体装备厂商的业绩十分亮眼。

据不完全统计，住手2023年3月，100多家半导体产业相关公司宣布了2022年业绩预告，超半数以上企业实现了净利润同比增进，其中多为半导体装备和质料领域的上市公司。增速大于100%的公司中有北方华创、拓荆科技、芯源微、华海清科、长川科技等多家国产半导体装备公司。

北方华创

北方华创主营营业包罗电子工艺装备和电子元器件，其中装备结构涵盖刻蚀、沉积、洗濯、检测等环节，下游笼罩逻辑、存储、功率、第三代半导体、光伏、面板等多领域，公司不停扩大产物线，是海内压倒一切的平台型半导体装备供应商。

1月11日，北方华创宣布2022年度业绩预告，预计2022年度营收区间为135-156亿元，同比增进39.41%-61.10%；净利润21亿元-26亿元，同比增进94.91%-141.32%。

北方华创2022年业绩预告

（图源：公司官网）

对于取得高速增进的缘故原由，北方华创在通告中示意，公司起劲接纳多项措施，战胜了疫情及供应链等晦气因素的影响，保障了生产谋划的正常运行，实现客户订单有序交付，整年电子工艺装备和电子元器件营业谋划业绩均实现了连续增进。

中微公司

中微公司是一家微观加工高端装备公司，主营营业是聚焦用于集成电路、LED芯片等微观器件领域的等离子体刻蚀装备、深硅刻蚀装备和MOCVD装备等要害装备的研发、生产和销售。

凭证2月27日宣布的业绩快报数据显示，中微公司2022年实现营业收入47.40亿元，较上年同期增进52.50% ，再创历史新高；归属净利润盈利11.698亿元，同比增进15.66%。公司2022年新签署单金额约63.2亿元，较2021年增添约21.9亿元，同比增添约53.0%，订单销售比到达1.33。

中微公司2022年业绩数据

（图源：公司官网）

中微公司示意，公司主打产物等离子体刻蚀装备是除光刻机以外最要害的微观加工装备，是制程步骤最多、工艺历程开举事度最高的装备。由于光刻机的波长限制和2维芯片到3维芯片的生长，等离子体刻蚀装备越来越成为卡脖子的装备，也成为十大类要害装备市场*的一类，占半导体前道装备总市场的约25%。公司结构的薄膜装备（主要是化学薄膜和外延装备）是除光刻机和刻蚀机外第三大装备市场。此外，中微公司通过投资结构了第四大装备市场——光学检测装备。公司另一个主打产物MOCVD装备是三五族化合物半导体制造的最要害的焦点装备。

至2022年底，中微公司累计已有3311台等离子体刻蚀和化学薄膜的反映台，在海内、亚洲和欧洲的106条生产线，周全实现了量产和大量重复性销售，赢得了众多客户和供应厂商的信托和支持。

其中，CCP电容性高能等离子体刻蚀装备在海内外连续获得更多客户的认可，市场占有率不停提高，在国际*进的5纳米芯片生产线及下一代更先进的生产线上均实现了多次批量销售，已有跨越 200台反映台在生产线及格运转；ICP电感性低能等离子体刻蚀机自推出以来，不停地批准更多的刻蚀应用，迅速的扩大了市场并收到*客户的批量订单，已在跨越20个客户包罗逻辑、DRAM和3DNAND等各种芯片生产线上举行跨越100多个ICP刻蚀工艺的量产，并连续扩展到更多刻蚀应用的验证，生长势头强劲。同样应用ICP手艺的8英寸和12英寸深硅刻蚀装备在先进系统封装、2.5维封装和微机电系统芯片生产线等刻蚀市场继续获得批量重复订单。

除刻蚀装备外，公司制造的氮化镓基 LED 的要害装备 MOCVD装备在新一代 Mini-LED 产业化中，在蓝绿光 LED 生产线上取得了**的职位。

此外，中微公司的种种新产物开发，包罗用于更先进微观器件制程的极高深宽比刻蚀装备、LPCVD薄膜装备、EPI外延装备和多种MOCVD装备，也取得了可喜的希望，即将为公司孝顺销售收入。

盛美上海

盛美上海公司的主要产物包罗半导体洗濯装备、半导体电镀装备和先进封装湿法装备等，研发出全球首创的SAPS/TEBO兆声波洗濯手艺和Tahoe单片槽式组合洗濯手艺，可应用于28nm及以下手艺节点的晶圆洗濯领域，可有用解决刻蚀后有机沾污和颗粒的洗濯难题。

盛美上海年报显示，2022年公司实现营业收入为28.73亿元，同比增进77.25%；归属于上市公司股东的净利润为6.68亿元，同比增进151.08%；扣除非经常性损益后的归属于上市公司股东净利润为6.90亿元，同比增进254.27%。

盛美上海2022年业绩数据

（图源：公司官网）

盛美上海示意，受益于海内半导体行业装备需求的不停增添，销售订单连续增进。同时，公司新客户拓展、新市场开发等方面均取得一定成效，新产物获得客户认可，订单量稳步增进。其中，公司来自中国大陆区域的营业收入为27.22亿元，同比增进78.03%；中国大陆区域外主营营业收入为0.34亿元，同比增进86.44%。

受益于半导体装备市场生长及公司产物竞争优势和公司多年产能扩张，2022年盛美上海半导体洗濯装备和其他半导体装备（电镀、立式炉管、无应力抛铜等装备）生产量和销售量均有提升。

同时，盛美上海仍在加大产业投资。在年报披露其已控股参股半导体专用装备零部件在内的四家公司基础上，日前，公司团结通富微电确立南通全德学镂科芯二期创投基金治理合资企业（有限合资），注册资源7.01亿元。盛美上海在年报中示意，公司思量在有机发展的同时，通过投资并购海内外高端的半导体装备厂商或与海内着名装备厂商举行互助开发，使公司能够笼罩更多的产物品类、占领更多细分市场。公司会重点关注洗濯装备、芯片制造、封装测试等领域的装备公司，以及其他化合物半导体领域装备公司。

同时，盛美上海还通告了其结构全球化的新动向，公司拟以超募资金2.45亿元向全资子公司盛美韩国增资，以新建并实行盛美韩国半导体装备研发与制造中央项目。公司示意，此举可有用改善韩国子公司的研发生产条件，提升其研发实力及产业化能力；同时进一步完善公司的全球化产业结构，加速推进公司有竞争力的差异化产物在国际客户端的验证与推广，增强公司对全球客户服务能力。

综合近年来的营业生长趋势，盛美上海预计2023年整年的营业收入将在人民币36.5亿-42.5亿元之间，同比增进27.0%-47.9%，维持高速增进。

拓荆科技

拓荆科技主要从事高端半导体专用装备的研发、生产、销售与手艺服务，主要产物包罗等离子体增强化学气相沉积（PECVD）装备、原子层沉积（ALD）装备和次常压化学气相沉积（SACVD）装备三个产物系列，产物主要应用于集成电路晶圆制造，以及TSV封装、光波导、Micro-LED、OLED显示等高端手艺领域。

2月26日，拓荆科技宣布的2022年业绩快报显示，2022年公司实现营业收入17.06亿元，同比增进125.02%；归母净利润为3.69亿元，同比增进438.09%。

拓荆科技2022年业绩数据

（图源：公司官网）

高速发展的背后，一方面是由于海内主要晶圆厂半导体装备需求增添，令公司销售订单大幅增添，营业收入维持高增进趋势；另一方面得益于公司加大产物研发投入，产物结构不停优化，产物竞争力连续增强，并进一步拓展客户群体，使得销售订单大幅增添，营业收入维持高增进趋势。

华海清科

华海清科公司主要从事化学机械抛光（CMP）、研磨等装备和配套耗材的研发、生产、销售，以及晶圆再生代工服务，产物可普遍应用于极大规模集成电路晶圆制造、封装、微机电系统制造、硅质料制造等领域。

华海清科的业绩显示同样亮眼，2022年公司实现营业收入16.82亿元，同比增添109.03%；归母的净利润5.15亿元，同比增添159.97%。

华海清科2022年业绩数据

（图源：互联网）

讲述指出，2022年公司业绩更改主要缘故原由是市场需求增添以及客户对公司产物认可度的继续提升，公司起劲掌握集成电路产业需求拉动所带来的市场时机，战胜了疫情及供应链等晦气因素的影响，连续加大研发投入和生产能力建设，增强了公司焦点竞争力，整年 CMP 装备及配套服务、晶圆再生营业等都实现了连续增进。公司新增订单稳步增进，在手订单不停增添，为公司业绩的快速增进提供了有力保障，收入规模连续增进。

2022年6月8日，华海清科设计募资10亿元，超募26亿元于科创板上市。

据那时新闻披露，华海清科上市之后短期内的主要生长偏向仍然是聚焦于化学机械抛光机的产能释放和制程升级上。此外，公司设计行使召募资金对公司焦点产物的产能扩充同时开展面向14nm及以下制程先进半导体制造CMP、减薄多项要害手艺及系统的创新开发及升级，助力公司进一步提升创新研发能力，增强手艺贮备，扩大公司市场份额，提高整体销售收入，增强公司连续盈利能力，牢固并增强公司的市园职位，提升公司的整体竞争力及品牌着名度。

芯源微

芯源微是海内*的高端半导体装备制造企业，所开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片洗濯机等产物，已形成完整的手艺系统和厚实的产物系列，可凭证用户的工艺要求量身定制。产物顺应差异工艺品级的客户要求，普遍应用于半导体生产、高端封装、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等领域。

2月22日，芯源微财报数据显示，公司2022年整年实现营业收入13.85亿元，同比增进67.12% ；实现归母净利润1.97亿元，同比增进约155.31%。

芯源微2022年业绩数据

（图源：公司官网）

对于2022年的业绩显示，芯源微示意，公司产物竞争力不停增强，新签署单规模同比大幅增进。公司集成电路前道晶圆加工领域产物收入实现快速放量，同时保持小尺寸（如LED、化合物半导体等）及集成电路后道先进封装领域产物收入稳步增进，公司利润连续增进。

2022年底，芯源微还正式宣布了前道浸没式高产能涂胶显影机新品，实现了在前道晶圆加工环节28nm及以上工艺节点的全笼罩，并可连续向更高工艺品级迭代。

新益昌

新益昌公司主要从事LED、半导体、电容器、锂电池等行业智能制造装备的研发、生产和销售，是海内LED封装、电容器老化测试智能制造装备领域的*企业，同时依附深挚的研发实力和连续的手艺创新能力，乐成进入了半导体封装装备和锂电池装备领域。

克日，新益昌宣布业绩快报，2022年实现营业总收入11.84亿元，同比下降1.08%；归属于母公司股东的净利润2.03亿元，同比下降12.46%。

新益昌2022年业绩数据

（图源：公司官网）

对于业绩更改，新益昌示意，2022年公司紧跟下游客户手艺生长的措施，对各板块营业起劲投入研发职员、销售职员和资金，聚焦智能制造装备行业生长主线，在行业中继续保持优势，但受疫情、宏观经济环境等多方面因素的扰动，公司半导体装备收入泛起一定水平下滑。未来公司将起劲应对外部市场环境的转变，坚持既定的战略设计，提升产物竞争力，起劲开拓市场，增强成本管控，提升公司整体谋划水平。

华峰测控

华峰测控是海内最早进入半导体测试装备行业的企业之一，始终聚焦于模拟和夹杂信号测试装备领域。

华峰测控宣布2022年度业绩快报显示，2022年公司实现营业收入10.71亿元，同比增进21.89%；归属于母公司所有者的净利润5.25亿元，同比增进19.67%。

华峰测控2022年业绩数据

（图源：公司官网）

讲述指出，2022年公司连续受到疫情影响，叠加半导体市场景心胸的不停低迷，给公司的业绩增进带来了伟大的挑战。在此时代，公司坚持既定的生长战略，不停优化产物结构，同时增强新产物研发和市场开拓，不停提高产物的市场占有率，保证了营业的连续稳固增进。

至纯科技

至纯科技的主营营业主要包罗半导体制程装备、工艺支持装备的研发和生产销售，以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子质料、部件洗濯及晶圆再生等服务。

作为海内半导体洗濯装备与高纯工艺系统的佼佼者，随着湿法装备营业的连续放量，至纯科技进入快速生长期。

1月29日，至纯科技对外宣布了一则关于公司2022年度新增订单情形的通告。至纯科技示意，公司所在行业生长稳固，公司全体成员战胜了疫情带来的影响，为实现用户价值而起劲。公司2022年度营业保持稳步增进，新增订单总额为42.19亿元，同比增进30.62%，其中半导体制程装备新增订单18.00亿元，同比增进60.71%。

长川科技

1月19日，长川科技披露2022年度业绩预告，公司预计2022年度实现归属于上市公司股东的净利润4.50亿-5.20亿元，同比增进106.20%-138.27%。

公司谋划业绩较上年同期上升的主要更改缘故原由包罗：营业规模的稳步扩大以及各种产物收入结构优化，高端品类收入占比连续上升等。长川科技主营产物包罗测试机、分选机、探针台、AOI装备和自动化妆备。

业绩背后，国产装备行业释放出哪些信号？

从多家半导体装备厂商业绩看来，增进动力多指向了半导体前道加工领域。不难看出，在薄膜沉积、刻蚀、CMP和洗濯装备等半导体前道工艺装备环节中，相关上市公司实现了1-2倍的业绩增进。

2022年，全球半导体产业链在疫情、需求缩短、地缘政治等因素影响下进入了行业的下行周期。不外，受益于近两年的扩产大潮以及国产替换契机，2022年大陆上市装备企业净利润较多实现较大幅度上升。而且，在半导体装备国产替换化加速靠山下，海内半导体厂商的条约欠债去年均实现大幅增进。

综合来看，下游需求、研发突破和产物放量组成国产半导体装备公司的发展主线，市场竞争力正在逐步提升。

但从行业现状来看，海内装备厂商现在仍然只是“点”的突破，尚未实现“面”的普及，缺乏成套装备的供应，装备的精度也不够，只能知足中低端芯片的生产，难以打入高端芯片生产线。

已往许多年，先进半导体装备手艺主要由美欧日等国主导，其中 美国的刻蚀装备、离子注入机、薄膜沉积装备、测试装备、程序控制、CMP等装备的制造手艺位于天下前线；荷兰依附ASML的高端光刻机在全球处于*职位；日本则在刻蚀装备、洗濯装备、测试装备等方面具有竞争优势。

面临猛烈的市场竞争环境，光大证券剖析指出，在半导体前道装备环节，短期受到出口管制、晶圆厂招标延迟等影响，国产化焦点逻辑仍在连续强化。据SEMI数据显示，2022年中国晶圆厂商半导体装备国产化率较2021年显著提升，从21%提升至35%。

现在，产业链上下游企业都在实验攻关半导体焦点装备。随着国产半导体装备手艺的不停演进，国产装备厂商最先逐渐分食属于美日韩厂商的市场蛋糕。耐久来看，国产半导体装备正在寻找新市场来填补不足。

据SEMI数据显示，2022年全球半导体装备市场规模高达1085亿美金，刷新历史最高纪录。其中，中国大陆区域为全球*的装备市场，2022年市场规模已到达320亿美元。

进入2023年，在全球经济增速下行、高通胀、终端需求下滑、芯片库存积压的靠山下，全球芯片公司短期内仍会承压前行。尤其是在下游客户减产、缩减投资等限制条件下，短期内半导体装备厂商的前途显得令人忧心忡忡。

SEMI展望，2023年半导体装备市场将泛起4年来的首次负增进，2023年全球半导体装备市场规模将年减16%至912亿美元，中国大陆、中国台湾、韩国分居前三。其中，晶圆厂装备市场将年减17%至788.4亿美元，封装装备市场年减13%至52.9亿美元，测试装备市场年减7%至70.7亿美元。而在前段装备部门，逻辑制程装备市场将较2022年削减9%，DRAM装备市场将大幅削减25%至108亿美元，NAND Flash装备市场将下滑36%至122亿美元。

与此同时，美国近年来一再泛化国家平安看法，滥用出口管制措施，不停扰乱国际经贸秩序和损坏全球产业链供应链平平稳固，甚至意图笼络或施压友邦来阻碍芯片等产物的正常国际商业。

2023年是半导体装备行业挑战与时机并行的一年，内忧外祸之下，国产替换紧迫性进一步提高，半导体供应链自主可控战略意义重大。

一方面，随着地缘政治不确定性不停升级，芯片制造企业也不愿意将鸡蛋放在统一个篮子中，这也给海内装备厂商提供了进入市场的契机。

海内厂商进军前道半导体装备市场虽然存在着难题，但经由数十年的累积，海内厂商也具备了向前道焦点装备市场进军的条件。连系当前外洋装备巨头业绩不加，海内半导体装备厂商的业绩普遍向好、逆势增进，这在当前事态下无疑给半导体装备国产化注入了信心。

另一方面，我国现在已经成为全球*的终端消费和制造中央，全球半导体产业逐步向大陆转移。在半导体装备公司的战略设计上，短期来看，半导体晶圆厂产能连续建设，尤其是大陆头部晶圆厂继续逆势大规模扩产，动员半导体装备需求兴旺；中耐久，半导体供应链加速本土替换，国产半导体装备厂商将连续受益。

写在最后

整体来看，中国半导体产业的国产化“知易行难”。除了手艺差距和美国限制之外，在投资、人才、市场竞争、战略刻意和耐心等方面，中国都还面临着很大挑战。

虽知易行难，但行胜于言。